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11 月 17 日消息，據國外媒體報道，光刻機制造商阿斯麥的 CEO 兼總裁彼得?維尼克 (Peter Wennink)，在本周前往了韓國，出席華城半導體集群的動工儀式。

而外媒的報道顯示，在韓國期間，除了與韓國相關的業務，彼得?維尼克還透露了他們下一代極紫外光刻機，也就是多家客戶期待的高數值孔徑極紫外光刻機的消息。

從外媒的報道來看，彼得?維尼克是在當地時間周二于首爾的一場新聞發布會上，透露高數值孔徑極紫外光刻機的消息的，他透露將在 2024 年開始出貨。

此外，彼得?維尼克在會上還透露，就長期而言，他們計劃每年生產 20 臺高數值孔徑極紫外光刻機。

阿斯麥官網公布的消息顯示，他們的高數值孔徑極紫外光刻機，將命名為 EXE 系列，數值孔徑將由 0.33 增至 0.55，用于 2nm 及以下的制程工藝。

從阿斯麥此前在財報中披露的消息來看，他們的 EXE 系列高數值孔徑極紫外光刻機，已有 TWINSCAN EXE:5000 和 TWINSCAN EXE:5200 兩個型號，前者在 2018 年就已開始獲得客戶的訂單，后者在今年年初也獲得了首臺訂單。

雖然彼得?維尼克透露他們的高數值孔徑極紫外光刻機在 2024 年就將開始出貨，但后續還需要進行安裝和測試，因而他們的客戶還需要一段時間才能投入生產。

阿斯麥在官網上也披露，他們向客戶供應的首臺以研發為目的的高數值孔徑極紫外光刻機，預計在 2023 年底出貨，用于大規模生產的，預計 2025 年開始在客戶的工廠全面投入運營。